ASML中國總裁:對華出口EUV光刻機在等荷蘭政府許可

(原標題:專訪荷蘭ASML中國總裁:對向中國出口光刻機保持開放態度)

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澎湃新聞記者 韓聲江

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11月5日,在第三屆中國國際進口博覽會現場,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)全球副總裁、中國區總裁沈波在接受澎湃新聞(www.thepaper.cn)專訪時表示,該公司對向中國出口集成電路光刻機持開放態度,對全球客戶均一視同仁,在法律法規框架下,都將全力支持。

當前,中國已成爲全球集成電路發展增速最快的地區之一。集成電路產業同時也是中國國民經濟和社會發展的戰略性、基礎性和先導性產業,地位十分重要。

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ASML公司是一家總部設在荷蘭Veldhoven市的全球最大的集成電路設備製造商之一。該公司所生產的光刻機是生產集成電路過程必不可少的核心角色。目前該公司所產最尖端EUV(極紫外光)光刻機的加工極限已達到5納米。美國蘋果公司最新版iPhone12所搭載芯片即爲在ASML支持下所產5納米芯片。

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澎湃新聞(www.thepaper.cn):目前ASML在全球集成電路光刻機領域處於龍頭地位,你認爲這種地位是如何得來的?

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沈波:現在大家可能更多關注的是結果,是我們目前的位置,但其實對我們來說,取得如今位置的過程更重要。ASML公司成立36年來,中間經歷了非常多的曲折與坎坷,尤其是前十年很多次幾乎都要死掉了,後來我們慢慢地在技術上摸索出了自己的一條道路之後,再經過非常多的努力,才一步步走到今天。

其中我覺得有兩點原因尤爲重要:第一,整個公司從研發到生產都處於一個非常開放的狀態,我們合作伙伴非常多,與客戶之間也互相非常透明,很多事情共同開發。ASML產品的85%的零部件是與供應鏈共同研發的。開放的生態系統能讓企業在全世界找到最好的供應商,包括光學器件、機械裝置等。

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第二,是我們公司對於技術的執着。ASML是一個工程師文化非常濃厚的公司,大多數員工都是工程師,所以對技術有着“咬定青山不放鬆”的勁頭,很多在外界看來不可能的事情,我們就有這個勁頭一直很偏執地想去做成。

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大家比較關注我們的最新技術,其實這背後有幾十年的努力,一個產品我們可能20年前就提出想法,然後20年裏投入200億歐元的研發費用來做這個產品,在幾年前行業裏還有很多人懷疑我們這個技術最後能不能工業化應用,在這種情況下,可以說我們公司仍舊保持了一種初創精神。

澎湃新聞(www.thepaper.cn):公司目前在中國的發展情況如何?

沈波:自30年前進入中國市場以來,ASML已提供了全面的技術和能力來滿足中國客戶的需求。目前我們在中國一共爲客戶提供了700多臺裝機。在遵守法律法規的同時,ASML全力支持客戶和中國集成電路行業的發展。

爲了更好地支持和滿足客戶的需求,ASML於2000年在天津正式成立了分公司。目前,ASML在中國設有12個辦公室,11個倉儲物流中心,2處開發中心,1個培訓中心,擁有1000多名員工。

我們最早一臺機器是1988年進入中國的,一路走過來,在每個階段我們和中國集成電路業界都有着很好的合作。目前中國的700多臺裝機涵蓋了ASML公司絕大部分類型產品。

這裏我想說明一下,大家有的時候可能會有一個誤解,是不是新的產品出來以後老的產品就過時了。其實現在回頭去看,我們80、90年代的產品現在市場上仍然會有很多需求。因爲現在集成電路的應用太多樣化了,7納米、5納米、3納米芯片的數量在整個芯片供應鏈中大概只佔10%多,絕大部分芯片是需要“成熟製程”的。比如現在物聯網、汽車電子、軌道交通、超高壓輸電等“新基建”的多個方面大量需要的還是“成熟製程”的芯片。

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我有時候覺得“高端”、“低端”這個分類是不對的,不同產品的芯片對光刻機的需求是不同的。有的可能就需要做5納米,有一些可能做40納米、28納米就夠了,有些甚至需要做90、110納米,不同產品類型的應用場景不同。

澎湃新聞(www.thepaper.cn):下一步在中國市場的發展計劃是什麼?如何看待未來中國集成電路市場?

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沈波:現在中國集成電路行業發展非常強勁,國家這幾年對集成電路投入也非常大,作爲ASML來講就是跟着中國集成電路發展去更好地服務我們的客戶。因爲光刻機對客戶芯片廠來說是最核心設備,我們首先要保證機器的正常運行,幫助客戶把產品做好,我們會加強這方面的服務支持力度。

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近幾年我們在中國也建立了自己的培訓中心,培養光刻行業人才。同時,在深圳和北京成了兩家技術開發中心,做計算光刻、量測等開發。

我們本次在進博會帶來重點推介的就是包含建模分析、量測的整體光刻解決方案,該方案包括先進控制能力的光刻機臺,計算光刻和測量共三大部分,形成一個“鐵三角”,通過建模、仿真、分析等技術,讓光刻邊緣定位精度不斷提高,讓成像達到最佳效果,ASML的整體光刻解決方案能夠提高產品良率和生產效率,不但能夠幫助行業客戶提升芯片的價值,同時也可以降低生產成本, 實現更廣泛的應用。

總的來說,公司在中國整個狀態越來越好,未來服務會更多樣化,對中國的投入也會越來越大。

澎湃新聞(www.thepaper.cn):光刻機包括DUV(高紫外光)光刻機和EUV(極紫外光)光刻機等多種類型,下一步,ASML有沒有向中國出口EUV光刻機的打算?

沈波:EUV光刻機我們還在等荷蘭政府的出口許可證。ASML必須要在遵守法律法規的前提下進行光刻機出口。但我們對向中國出口光刻機是保持很開放態度的,我們對全球客戶都一視同仁,只要是我們能夠提供的技術和設備,我們都會全力支持。實際上,2020年第二、第三季度,公司發往中國大陸地區的光刻機臺數超過了全球總檯數的20%。

澎湃新聞(www.thepaper.cn):你對近期中國集成電路行業發展怎麼看?

沈波:集成電路行業歷史其實也有60年了,現在整個信息化時代產生的數據和對計算能力的要求越來越高,整個集成電路產業也在社會發展和科技進步層面,變成了非常基礎性的關鍵產業。

但是,芯片的製造有上千道工序,並不是只有光刻,從我們的角度來看,整體工藝水平到一定程度之後,對設備就有一些不同需求,但前邊的技術儲備時間是要非常長的,不是說今天覺得可以去做就能夠做了,我覺得現在這個行業大家有點太過“積極”了,應當充分認識到行業中的風險和難度。

我們幹這個行業,最大的一個體會就是,這真的是一個很難的行業,非常難,需要大家有耐心、有毅力、能堅持,真的往裏持續投入,去把一個個問題解決,才能真正往前發展,要能夠沉得下心來。

從芯片製造行業發展角度來講,全球有一個不斷整合的過程,中國最終也會融入到這個體系之中,所以有一些必須經歷的過程可能還是要經歷。

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澎湃新聞(www.thepaper.cn):你認爲集成電路技術下一步的發展方向是什麼?

沈波:隨着5G、人工智能、大數據、物聯網的發展,催化出超乎想象的各種應用,對芯片性能提出了更高要求。現在集成電路行業談摩爾定律談得比較多,即大概每兩年芯片技術要往前走一步,實際上就導致每兩年芯片的性能更強大了,成本更低了。比如,十年前買一個512M的U盤可能要幾百塊錢,現在幾塊錢就能買到,摩爾定律實際上是讓芯片變便宜了,這都是技術發展帶來的。

整個行業方面,我認爲大家推進集成電路行業往前走有幾個大的方向:一個是從物理的角度讓芯片變得小一些,這方面我們ASML扮演一個角色;同時,行業還要把芯片的集成度提高,讓芯片的功能不再單一,原來存儲就是存儲,邏輯就是邏輯,現在可能在同一個芯片可能可以集成多種功能;另外,就是芯片本身器件和材料的進步,比如硅基芯片看看是不是要做化鈷芯片。這些方向結合起來,會讓芯片做的越來越強大,越來越便宜。

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澎湃新聞(www.thepaper.cn):作爲行業龍頭害不害怕來自其他公司的競爭衝擊你們目前的地位?

沈波:不害怕,我們一直強調,ASML是一個很開放的公司,競爭一定會推動技術的進步,所以我們是歡迎競爭的,只有競爭才能充分把大家所有聰明才智充分挖掘出來,推動行業發展。我覺得我們公司某種程度上有這個使命,幫助整個行業繼續往前走,只要是有利於各行業向前發展的事我們都歡迎。

一個系統內部,大家分工協作最有效率,芯片技術越來越有競爭力,人們才能消費到價格更低、性能更好的電子產品。只有開放才能最有效地創新,關起門來效率是非常低的。